工業(yè)檢測金相顯微鏡適用于對工件表面的組織結(jié)構(gòu)與幾何形態(tài)進行顯微觀察。采用優(yōu)良的無限遠光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計理念,可以方便升級系統(tǒng),實現(xiàn)偏光觀察、暗場觀察等功能,導(dǎo)柱升降裝置,可以快速調(diào)整工作臺與物鏡之間的距離,適用于不同厚度工件檢測。
工業(yè)檢測金相顯微鏡的主要功能:
1、遠光學(xué)成像與柯拉照明落射系統(tǒng)
產(chǎn)品采用優(yōu)良的遠長工作距離平場消色差物鏡,大視野廣角目鏡,高亮度鹵素?zé)艋騆ED照明,可實現(xiàn)明視場、暗視場、偏振光、微分干涉相襯、工業(yè)熒光顯微觀察功能,目視觀察可選擇正像觀察模式,系統(tǒng)安裝在線性導(dǎo)軌機構(gòu)上,保持良好的運動與成像的穩(wěn)定性。
2、工作移動平臺與控制系統(tǒng)
測量的精度與操作性能很大程度依賴于工作平臺的制造精度與可控性。手動工作平臺采用交叉滾柱導(dǎo)軌與直線引導(dǎo)機構(gòu),具有快/慢速離合功能,電動工作平臺采用滾珠絲桿與步進電機傳動,在有效移動范圍內(nèi)具有良好的運動與控制精度,可附加定位鎖緊、旋轉(zhuǎn)載物臺等附件,滿足不同用戶需求。
3、測量數(shù)據(jù)顯示與處理系統(tǒng)
通過影像中的十字基準(zhǔn)線與工作臺光柵機構(gòu)的相對移動,在數(shù)顯屏上可觀察到影像的實際運動量可以減少因影像系統(tǒng)誤差而出現(xiàn)的測量偏差,滿足手動測量用戶的要求。
顯微影像與光柵數(shù)據(jù)集成于測量分析軟件時,可通過對步進電機的自動控制實現(xiàn)顯微測量,滿足在線用戶的自動檢測要求。通過聚焦步進電機與垂直運動光柵機構(gòu)可實現(xiàn)自動聚焦、影像合成及深度測量等。